| 商品參數： |
【字體】：
|
半導體特氣檢漏儀XP-703D
半導體特氣檢漏儀XP-703D
| 特點(diǎn)：
¬ 最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
¬ 采用聲光報警。 |
|
型 號 |
XP-703D |
|
檢測對象氣體 |
半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） |
|
檢測原理 |
熱線(xiàn)型半導體式 |
|
采樣方式 |
自動(dòng)吸引式 |
|
可檢測濃度
（單位：ppm） |
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
|
檢測表示 |
蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍 |
|
應答速度 |
10秒以?xún)? | | |
|
|
